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UR-Z722M-B是horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z700中的暢銷款，控制該壓力控制器前端的壓力。 控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar， 數(shù)字通訊 消除大流量氣路切換引起的串擾影響（出口控制型）

horiba IGS氣體質量流量計Z517/Z527MGX IGS接口，EtherCat通訊 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模擬信號輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

horiba高精度氣體質量流量計Z552/Z562MGX 小量程0-100SLM，大量程0-500SLM 高精度：2.0% S.P. (50-100% F.S.); 1% F.S. (≤50% F.S.) 模擬信號輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

SEC-Z522MGX horiba高精度氣體質量流量計Z522/Z532/Z542 小量程0-20sccm，大量程0-200SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模擬信號輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

horiba高精度氣體質量流量計SEC-Z514MGX/Z524MGX 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：1.0% S.P. (25-100% F.S.);0.25% F.S. (≤25% F.S.) 數(shù)字通訊：DeviceNet

horiba高精度氣體質量流量計Z512 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模擬信號輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

數(shù)字式氣體質量流量計SEC-Z512MGX、Z522MGX多用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中，我公司提供進口Z514、Z524，保修期1年。

SEC-N112系列質量流量控制器特點：1、直接測量管道內流體的質量流量；2、工作穩(wěn)定可靠；3、適應的流體介質面寬；4、廣泛的應用環(huán)境；5、多種實時在線測控功能；6、可擴展性好。

Horiba氣體質量流量計S500低成本、模擬式，最大流量30L/min，可以直接測量管道內流體的質量流量。

Horiba氣體質量流量計SEC-N172R/SEC-N176R特點： 通訊模式：數(shù)字式、模擬式； 滿量程范圍 ：0-300SLM , 可選0-500SLM，0-1000SLM； 模擬輸出、數(shù)字通訊二選一。