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horiba數(shù)字式壓力控制器

  • 產(chǎn)品型號(hào):UR-Z714M-B
  • 更新日期:2024-12-09

簡(jiǎn)要描述:UR-Z714M-B是horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z714中的暢銷(xiāo)款,控制該壓力控制器前端的壓力。
控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar
Devicenet數(shù)字通訊
消除后端壓力波動(dòng)對(duì)前端腔體壓力的影響(入口控制型)

產(chǎn)品詳情

UR-Z714M-B horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z714

控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar,數(shù)字通訊

暢銷(xiāo)型號(hào):UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。

UR-Z714M-B是UR-Z700中的一款,控制該壓力控制器前端的壓力。

UR-Z700系列是高性能自動(dòng)壓力控制閥配備電子調(diào)節(jié)閥,帶有高精度壓力傳感器和高分辨率、快速響應(yīng)的壓電閥。根據(jù)接收到的外部控制信號(hào)控制壓力。

UR-Z712M、UR-Z722M、UR-Z732M、UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、支持模擬輸出和RS485通訊

UR-Z714M、UR-Z724M、UR-Z734M、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B支持DeviceNet™通訊模式。

horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z714M-B產(chǎn)品性能:

·分兩種應(yīng)用:入口控制型(-M-B型)和出口控制型

·消除大流量氣路切換引起的串?dāng)_影響(出口控制型)

·快速響應(yīng):0.5秒內(nèi)

·靈活的設(shè)計(jì):可以安裝在任何位置,適用于各種氣體供應(yīng)系統(tǒng)

·進(jìn)氣壓力多種選擇:表壓、絕對(duì)壓力

·符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)(UR-Z704系列)

·超潔凈:全金屬結(jié)構(gòu)

參數(shù)表:

horiba數(shù)字式壓力控制器

產(chǎn)品背面圖

horiba數(shù)字式壓力控制器

產(chǎn)品安裝孔圖

周邊產(chǎn)品:

horiba數(shù)字式壓力控制器

Horiba品牌介紹:

HORIBA是全球著名的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商,主要提供氣體質(zhì)量流量控制器、液體質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、汽化器。在半導(dǎo)體設(shè)備PECVD、MOCVD、Etch等關(guān)鍵工藝有非常廣泛的應(yīng)用。

暢銷(xiāo)型號(hào):

數(shù)字型質(zhì)量流量控制器:SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGM、SEC-Z532MG、SEC-Z542MG、SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z544MG、SEC-Z712MGX、SEC-Z722MGM、SEC-Z732MG、SEC-Z714MGX、SEC-Z724MGM、SEC-Z734MG

低成本數(shù)字型質(zhì)量流量控制器:SEC-N112MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N172R、SEC-N114MGM、SEC-N124MGM、SEC-N134MGM、SEC-N116MGM、SEC-N126MGM、SEC-N117MGM、SEC-N127MGM

模擬型質(zhì)量流量控制器:SEC-E40MK3、SEC-E50MK3、SEC-E40V、SEC-E50V,SEC-E431X、SEC-E441X、SEC-E531、SEC-E541

液體質(zhì)量流量控制器:LV-F20PO、LV-F30PO、LV-F30PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60PO

液體質(zhì)量流量計(jì)LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F60M

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