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簡(jiǎn)要描述:horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z524/Z534/SEC-Z514小量程0-2sccm,大量程0-50SLM高精度:1.0% S.P. (25-100% F.S.); 0.25% F.S. (≤25% F.S.)數(shù)字通訊:DeviceNet
暢銷型號(hào): SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。
可選低成本數(shù)字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
可選低成本模擬型:SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
國內(nèi)組裝模擬型:Horiba S48 28、horiba S48 32、S300
國內(nèi)組裝數(shù)字型:S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212
horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z524 又稱氣體質(zhì)量流量控制器,簡(jiǎn)稱MFC。
主要功能是:控制器管路中的流量達(dá)到期望的設(shè)定值,同時(shí)反饋實(shí)際的流量信號(hào)到上位機(jī)。
大流量Horiba氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z524是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC,用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中,國內(nèi)多回收、二次銷售,
我公司提供進(jìn)口
SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z514、SEC-Z524等,
保證全新進(jìn)口,終身維修。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量, 現(xiàn)場(chǎng)設(shè)定;
2) 超高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速響應(yīng):< 1秒 (全量程范圍內(nèi),任意設(shè)置點(diǎn));
4) 非常方便的現(xiàn)場(chǎng)設(shè)置操作;
5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器,可以zui大限度地減少庫存;
6) 與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容;
7) 可選其他數(shù)字通訊:DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模擬信號(hào)。
horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z514/SEC-Z534/Z514 horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z514/SEC-Z534/SZ514 horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z514/SEC-Z534/SZ514
產(chǎn)品參數(shù)
規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設(shè)定由操作者運(yùn)用特殊軟件改變。 訂購注意: 請(qǐng)?zhí)峁┊a(chǎn)品的介質(zhì)名稱、氣體量程、接口尺寸。 如是設(shè)備備件的更換,請(qǐng)?zhí)峁┰a(chǎn)品的背面圖片和側(cè)面圖片、頂部圖片。
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